11月5日下午，半导体关键零部件研发生产基地暨泛半导体工业设备研发总部签约仪式在合肥市区政务中心举行，包河区与高芯众科半导体有限公司(以下简称高芯众科）、安徽金亿科智能设备有限公司（以下简称金亿科）签约合作。高芯众科是一家泛半导体行业高新技术企业，专注于真空腔体核心零部件制造，特殊精密涂层技术，涂层核心材料研发及生产。高芯众科拟在包河经开区投资建设半导体关键零部件国产化研发生产基地。该项目主要从事半导体高纯度陶瓷零部件、半导体精密加工硅零部件、液晶面板设备关键零部件、等离子特殊涂层、真空机器人及阀门等半导体核心零部件及原材料生产研发产线的建设。

　　金亿科主要从事半导体行业真空设备、新能源行业专用设备的生产及制造，拟在包河经开区投资建设金亿科研发中心及总部项目。项目落地后，将研发生产多种系列在真空环境下工作的机器人、锂电池X-RAY检测设备产线及半导体检测设备。（谢文君 文/图）

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